隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)電子半導(dǎo)體石墨的性能要求也在不斷提高。未來(lái),電子半導(dǎo)體石墨將朝著更高純度、更高性能、更環(huán)保的方向發(fā)展。同時(shí),為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造中的多樣化需求,石墨材料的制備工藝和加工技術(shù)也將不斷創(chuàng)新和改進(jìn)。
電子半導(dǎo)體石墨是一種具有特殊電學(xué)性質(zhì)的石墨材料,通過(guò)特定的工藝處理,石墨材料中的碳原子排列發(fā)生變化,使得其導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體之間,從而表現(xiàn)出半導(dǎo)體特性。這種獨(dú)t的性質(zhì)使得在微電子學(xué)、光電子學(xué)以及傳感器等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。
1、定位與對(duì)齊:
根據(jù)設(shè)備圖紙或標(biāo)記,正確定位石墨部件的安裝位置和方向(如加熱器的正負(fù)極、坩堝的錐度方向)。
使用非金屬定位銷(xiāo)或夾具輔助對(duì)齊,避免強(qiáng)行插入造成碎裂。
2、輕柔操作:
石墨材質(zhì)脆性大、易碎,安裝時(shí)必須輕拿輕放,避免碰撞、跌落或施加側(cè)向力。
推薦使用真空吸盤(pán)或?qū)S梅墙饘賷A具進(jìn)行搬運(yùn)和定位。
3、連接與固定:
若需螺栓固定,使用非金屬或高純石墨螺栓,按對(duì)角線(xiàn)順序、分步均勻擰緊,避免局部應(yīng)力集中導(dǎo)致開(kāi)裂。
電連接部分(如加熱器電極)應(yīng)確保接觸良好、無(wú)松動(dòng),接觸面可涂抹少量高純石墨導(dǎo)電膏以降低接觸電阻(需確認(rèn)工藝允許)。
4、間隙與配合:
注意石墨部件之間的熱膨脹間隙。石墨熱膨脹系數(shù)雖小,但在高溫下仍會(huì)膨脹,需預(yù)留足夠間隙防止熱應(yīng)力開(kāi)裂。
避免過(guò)盈配合或強(qiáng)制裝配。
